微流红外气体分析仪

微流红外气体分析仪的原理结构如图所示。

1毛细管流道，2秒层接收室，3微流量传感器，4测量室，5切片，6切片电机，7红外光源，8镜，9光学窗口，10 - 可调节的滑动件，11-第一层接收室，12-第三层接收室红外光源7被加热到600℃以发射红外线，由切割片5调制成频率A 25/3 Hz间歇光束通过测量室4进入探测器的接收室。

接收气室由填充有待测组件的多层串联气室组成，第一层吸收红外辐射带中间位置的能量，第二层吸收边界能量，两者这些层通过微流量传感器3连接在一起。

当切割片材处于“开”状态时位置，接收室的第一层充满待被测组件吸收的红外辐射能量，然后热量膨胀，压力增大，气流通过毛细管通道流向第二层接收室2当切割片处于“中断”状态时在该位置，第一层充气气体冷却和收缩，压力降低，气室第二层的流动通过毛细管通道流回气室的第一层。

切割片交替地打开和关闭，并且气流在微流量传感器中来回流动，并且在检测器桥的两端产生交流信号。

信号的幅度与流过传感器的气体的流速成比例，并且等于待测组分的浓度。

反比率。

微流量传感器中有两个镍网格被加热到大约120°C。

这两个网格电阻和两个辅助电阻形成惠斯通电桥。

脉冲气流反复流过微流量传感器，导致镍栅极电阻器的电阻发生变化。

接收室串联连接，以消除干扰成分对测量结果的影响。

在接收气体室中，除了填充待测组分外，还根据待测气体的组成填充一定比例的干扰组分。

干涉分量吸收第一和第二气室中的红外辐射，并且产生的压力沿相反方向作用并相互抵消。

在ULTRAMAT23产品中，还有第三层接收室12，其功能是延长双层气室的光程长度，吸收红外辐射的边缘能量，并调节透光孔径通过滑动件的三层气室的尺寸。

，改变红外吸收，减少某种干扰成分的影响，并充当可调光锥。

（1）双流微流红外气体分析仪稳定性好，可在线使用。

（2）灵敏度高，可分析痕量气体。

（3）探测器结构简单，成本低。

（4）探测器可以串联使用，适用于多个部件的同时分析。

（5）探测器不怕振动，振动对仪器测量没有影响。

（1）武汉四方光电有限公司的微流红外气体分析仪Gasboard-3000（新产品）该探测器由公司自主研发，可实现多组分测量。

（2）西门子ULTRAMAT6红外气体分析仪，双光路结构，适合在线使用; ULTRAMAT23红外气体分析仪，单光路结构，探测器可串联连接，实现多分量测量。

（3）富士电机的ZRE型微流红外气体分析仪;横河电机的IR100和IR200微流量红外气体分析仪。

（4）罗斯蒙特X-Stream通用气体分析仪X2GP。

（5）德国BUHLER公司，北京Xuedilong公司和成都Becheng公司也生产微流红外气体分析仪，微流量检测仪采用西门子产品。