·与A * STAR微电子研究所（IME）和日本制造工具供应商ULVAC（Afak Co.，Ltd.）合作，专注于压电MEMS技术。
·第一个概念旨在加速概念验证到批量生产的转换，并促进压电MEMS在AR / VR，医疗和3D打印等新产品中的应用。
预计第一批晶圆将于2021年第二季度生产，并将于2020年10月2022年底在中国开始量产。
第30家意法半导体（ST）是全球领先的半导体供应商，跨多个领域电子应用和MEMS（微机电系统）技术的全球领导者日前宣布，它将与新加坡A * STAR IME进行研究。
该研究所与日本领先的制造工具供应商ULVAC合作，共同创立了8家STMicroelectronics公司将以压电MEMS技术为核心的1英寸（200毫米）晶圆研发生产线作为关键研究方向新加坡工厂这是世界上第一个“ Fab-in-Fab”实验室研发生产线整合了三个合作伙伴在压电材料，压电MEMS技术和晶圆制造工具领域的领先技术和互补的研发能力，并促进了新材料和工艺技术的创新和发展最终将加速产品开发对于企业客户。
Fab-in-Fab实验室在宏茂桥工业园区内设有STMicroelectronics的新洁净室区域。
它将配备由三个合作伙伴提供的工具，设备和专用资源，以为MEMS研发过程科学家和工程师提供工作场所。
IME微电子压电MEMS器件设计，工艺集成和系统集成方面的知识基础和行业驱动力将为研发生产线的开发提供积极的增值效果。
IME还将提供最先进的工具和设备，以确保将科学技术创新平稳地转化为产品。
所有过程都在同一地点完成。
新的研发生产线还将利用意法半导体的现有资源，以利用同一园区内意法半导体晶圆厂的规模经济优势。
期望在实验室中使用“ Lab-in-Fab”。
意法半导体模拟设备公司总裁Benedetto Vigna将于2021年第二季度完成并投入使用，第一批晶圆将生产，并将于2022年底实现批量生产。
MEMS和传感器（AMS）产品部表示：“我们与IME和ULVAC有着悠久的合作历史。
这项新的合作旨在共同创建世界领先的压电MEMS。
材料，技术和产品研发中心。
这是世界上第一个实验室，将位于意法半导体在战略上具有重要意义的新加坡工厂。
Fab-in-Fab将使我们的客户能够轻松完成从概念可行性研究到产品批量生产的转换过程。
“这项合作可以增强意法半导体新加坡现有的制造工艺产品组合，并加快压电MEMS致动器在有前途的新应用中的采用。
新兴应用包括智能眼镜，AR头戴式受话器和激光雷达系统。
用于新兴医疗设备的MEMS微镜；用于新兴医疗设备的压电微机械超声换能器（PMUT），以及用于商业和工业3D打印机的压电打印头。
IME执行院长Kwong Dim-Lee Kwong教授说：“ IME，ST和ULVAC之间的公私合作项目已经建立了一条独特的研发生产线，该生产线将使用压电材料开发创新产品并增强合作伙伴的竞争力。
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这些努力将使高价值的研发活动继续在新加坡扎根，并证明新加坡仍然是行业领导者在技术创新和业务发展方面的首选地区。
A * STAR将致力于帮助当地中小企业发展和利用我们的技术。
我们欢迎公司与IME合作，并使用我们的晶圆厂实验室设施进行概念验证”。
ULVAC执行官兼高级研究员SU Koukou SUU博士说：“我们很高兴能成为“ Fab-in-Fab”实验室的一员。
ST和IME之间的合作。
合作伙伴将开发先进的压电MEMS产品，以用于许多有希望的未来应用，这充分证明了ULVAC在压电MEMS制造技术解决方案市场中的领先地位。
我们期待与合作伙伴紧密合作，以使合作取得圆满成功”。
编辑指出，压电元件已经广泛用于制造压电致动器或传感器已有数十年的历史了。
在过去的几个