为了使用机器微视觉技术来描述高速移动MEMS器件的运动状态，可以引入频闪成像技术。
频闪成像技术源于频闪效应原理。
所谓的频闪效应是物体从人的视野中消失后可以离开一定时间的视觉印象，即视觉后效。
在物体的一般亮度下，视觉后效应的持续时间约为1/5至1 / 20s。
如果来自被观察物体的视觉刺激信号是一个接一个的，并且两个物体之间的间隔小于1 / 20s，则视觉不会及时消失，这会给人一种连贯的错觉。
此时，如果使用闪光灯来照亮周期性移动的MEMS装置，则当MEMS装置的移动频率等于闪烁频率时，相当于闪光灯“冻结”。
在某个位置。
这样，通过多次曝光，可以在此阶段获得MEMS器件的清晰图像。
＆amp; nbsp;＆amp; nbsp;＆amp; nbsp;图1显示了频闪成像的原理。
假设将收集处于零相位的高速移动MEMS器件的清晰图像，则可以使用函数发生器来生成照明所需的窄脉冲信号。
该信号的周期与MEMS器件的驱动信号相同，并且在零相位处同步。
即，每个周期中的高电平的位置应与MEMS驱动信号的零相位位置一致。
只有这样，才能捕获MEMS器件在零相位时的运动图像。
为了进一步优化照明效果，照明信号的高电平时间应为100ns〜1000ns。
这样，通过使用该照明信号并通过闪光灯驱动电路驱动高亮度LED以发出足够的光强度，可以使CCD以零相位多次曝光，从而最终获得期望的固定图像。
从频闪成像的原理可以看出，为了能够在不同的运动相位和不同的驱动频率下收集高速运动的MEMS器件的清晰图像，需要设计频闪照明电路。
由于成像质量直接影响后续MEMS器件运动特性的提取和分析，因此对LED提出了很高的要求。
首先，它必须具有足够的强度，并且其稳定性和可控性也有更高的要求。